@PhDThesis{Alves:2015:EsSoOt,
author = "Alves, Kenya Aparecida",
title = "Estudo sobre a otimiza{\c{c}}{\~a}o da difusividade t{\'e}rmica
do cobre a partir de filmes de diamante CVD",
school = "Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)",
year = "2015",
address = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos",
month = "2015-02-11",
keywords = "diamante CVD, difusividade t{\'e}rmica, cobre, CVD diamond,
thermical difussivity, copper.",
abstract = "Neste trabalho foi desenvolvido um comp{\'o}sito de Cu/Diamante
para obter um filme de diamante CVD com boa ades{\~a}o ao
substrato de cobre e alta difusividade t{\'e}rmica para
aplica{\c{c}}{\~o}es eletr{\^o}nicas e t{\'e}rmicas. A amostra
com filme de diamante sobre o substrato de cobre com o
comp{\'o}sito de cobre e gr{\~a}os de diamante ap{\'o}s o
processo de refus{\~a}o a laser apresentou um melhora de
aproximadamente 50\% do valor da difusividade t{\'e}rmica do
cobre de 113 \$mm^{2}\$/s. A deposi{\c{c}}{\~a}o de filmes de
diamante diretamente sobre o cobre produz pouca ades{\~a}o devido
a n{\~a}o afinidade do carbono ao cobre e, portanto a n{\~a}o
forma{\c{c}}{\~a}o de carbeto e a alta incompatibilidade de seus
coeficientes de expans{\~a}o t{\'e}rmica. Um processo em duas
etapas deixa o Cu/Diamante incrustados, fornecendo ancoragem do
filme quanto al{\'{\i}}vio do estresse t{\'e}rmico. O primeiro
passo envolve a eletrodeposi{\c{c}}{\~a}o do cobre misturado com
gr{\~a}os de diamante (10-50\$\mu\$m). O segundo e essencial
passo foi o processo de refus{\~a}o a laser para modificar o
cobre eletrodepositado a um estado de fus{\~a}o, e melhorar o
ancoramento dos gr{\~a}os de diamante na superf{\'{\i}}cie. O
filme de diamante CVD foi depositado sobre esta
superf{\'{\i}}cie utilizando o m{\'e}todo de
Deposi{\c{c}}{\~a}o Qu{\'{\i}}mica de fase de Vapor por
Filamento Quente (HFCVD). A interface do comp{\'o}sito
Cu-Diamante e o filme de diamante foram caracterizados com
Microscopia Eletr{\^o}nica de Varredura, Espectroscopia de
Energia Dispersiva de Raio-X, Espectroscopia de espalhamento Raman
e a medi{\c{c}}{\~a}o da difusividade t{\'e}rmica das amostras
foi feita pelo m{\'e}todo do Flash de Laser. ABSTRACT: In this
work, we developed a Cu/Diamond composite to achieve chemical
vapor deposited (CVD) diamond films with good adhesion on copper
substrates and high thermal diffusivity for electronic and thermal
applications. The sample with CVC diamond films on copper and
composite copper and grains diamonds after the laser glazing
process showed improvement of approximately 50\% higher than the
thermal diffusivity of copper, 113\$m^{2}\$/s. The direct
diamond film deposition on copper yields poor adhesion because of
carbon non affinity to copper and the high mismatch of their
thermal expansion coefficients. A two-step process let a
Cu/Diamond composite inlay that provide both film anchoring and
stress relief. The first step involved electroplating of Cu mixed
with diamond powder (10-50\$\mu\$m) on copper. The essential
second step was laser glazing to change the electroplated copper
to a molten state, which improved diamond powder embedding into
surface. The CVD diamond film was deposited on top using Hot
Filament Chemical Vapor Deposition (HFCVD) method. The Cu-diamond
composite interlayer and the CVD diamond film characterization
included Scanning Electron Microscopy, Energy Dispersive X-ray
(EDX/EDS), Raman Spectroscopy, and composite thermal diffusivity
was measured by the laser flash method.",
committee = "Corat, Evaldo Jos{\'e} (presidente/orientador) and Trava-Airoldi,
Vladimir Jesus and Machado, Jo{\~a}o Paulo Barros and Rodrigues,
Nicolau Andr{\'e} Silveira and Mengui, {\'U}rsula Andr{\'e}ia",
copyholder = "SID/SCD",
englishtitle = "Study on the optimization of copper thermal diffusivity from CVD
diamond films",
language = "pt",
pages = "132",
ibi = "8JMKD3MGP3W34P/3J8SC3S",
url = "http://urlib.net/ibi/8JMKD3MGP3W34P/3J8SC3S",
targetfile = "publicacao.pdf",
urlaccessdate = "27 abr. 2024"
}